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高纯度氧化铝陶瓷机械手臂
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产品名称

高纯度氧化铝陶瓷机械手臂

加工精度 0.005mm
是否定制 按图定制
粗糙度 Ra0.3
材料成分 99.7-99.8氧化铝陶瓷
我要定制 按客户需求接受定制;欢迎来厂参观!
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高纯度氧化铝陶瓷机械手臂

高纯度氧化铝陶瓷机械手臂被用在半导体晶圆生产过程中,主要是用来抓取晶圆,通常采用高纯的氧化铝制作,也可以使用碳化硅陶瓷制作,它也被称为“末端执行器”(半导体陶瓷)。高纯度氧化铝陶瓷机械手臂是晶圆转运过程中必须用到的一款产品,对材料的要求和加工精度的要求都非常高,钧杰陶瓷拥凭借专业的技术团队和专用设备,采用高纯氧化铝陶瓷材料,经过多道工序精密加工而成。目前我们有能力生产2-12寸各型号陶瓷机械手臂,以下是我司生产的几款产品的展示。

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晶圆加工中对“氧化铝陶瓷机械手臂”的需求以及它必须具备的特性
氧化铝陶瓷机械手臂用于在不同的位置之间转运移动半导体晶片。相当于是机器人的手臂,这种工作性质 要求它具有热稳定性和尺寸稳定性,持久性的同时不会被颗粒或化学污染物污染腔室。


使用氧化铝陶瓷而不是铝金属有哪些主要优点?
高纯度的氧化铝陶瓷因其刚度和高强度而被选择制作成机械手臂,这意味着机器人手臂比铝更快地固定到其最终位置。此外,机器人本身的运动速度更快,优化了定位精度并提高了效率。

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