高纯度陶瓷手臂

高纯度氧化铝陶瓷机械手臂 高纯度氧化铝陶瓷机械手臂被用在半导体晶圆生产过程中，主要是用来抓取晶圆，通常采用高纯的氧化铝制作，也可以使用碳化硅陶瓷制作，它也被称为“末端执行器”（半导体陶瓷）。高纯度氧化铝陶瓷机械手臂是晶圆转运过程中必须用到的一