陶瓷支撑件

碳化硅陶瓷是一种具有多种优良特性的材料，其用途广泛，主要包括以下几个方面： 1、半导体设备：在半导体制造中，碳化硅陶瓷用于外延生长设备、刻蚀设备、氧化/扩散/退火设备等关键部件，因其能适应强腐蚀性和超高温的环境。 2、国防军工：除了防弹装甲，碳化硅陶瓷还在其他军事应用中发挥重