半导体陶瓷涂层

    在陶瓷表面通过技术手段附着上一层特殊涂层后，使半导体陶瓷的性能发生变化，目前这种工艺在半导体制品生产过程中已经非常广泛。例如用于颗粒污染控制的纹理陶瓷涂层。对于静电夹盘，喷涂氧化铝涂层用作电极上的绝缘层，这些电极已嵌入单片氧化铝夹盘中。覆盖在电极上的绝