陶瓷手臂

  半导体陶瓷手臂在半导体新芯片的整个生产过程中操纵和搬运硅晶片。它能够处理大尺寸晶片，并且可以设计有真空通道以承载零件。一般都使用工业陶瓷材料制作而成的，常见的材料有高纯度的氧化铝陶瓷，碳化硅陶瓷，氮化硅陶瓷材料等。生产半导体陶瓷手臂最重要的一点能力就是对陶瓷材料的精