半导体制造设备中使用了大量的精密陶瓷部件,这些陶瓷部件具有高硬度、高弹性模量、高耐磨、高绝缘、耐腐蚀、低膨胀等特点,广泛应用于各种半导体设备中,如硅片抛光机、外延/氧化/扩散等热处理设备、光刻机、沉积设备,半导体刻蚀设备和离子注入机等。 &nbs
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随着科技的飞速发展,半导体行业在现代社会中扮演着越来越重要的角色。在这个高科技领域中,工业陶瓷以其优异的性能,在半导体制造和封装过程中发挥着至关重要的作用。本文将为您介绍半导体行业中常用的工业陶瓷材料。 一、导热陶瓷 &nbs
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