高纯度氧化铝陶瓷机械手臂

高纯度氧化铝陶瓷机械手臂被用在半导体晶圆生产过程中，主要是用来抓取晶圆，通常采用高纯的氧化铝制作，也可以使用碳化硅陶瓷制作，它也被称为“末端执行器”（半导体陶瓷）。高纯度氧化铝陶瓷机械手臂是晶圆转运过程中必须用到的一款产品，对材料的要求和加工精度的要求都非常高，钧杰陶瓷拥凭借专业的技术团队和专用设备，采用高纯氧化铝陶瓷材料，经过多道工序精密加工而成。目前我们有能力生产2-12寸各型号陶瓷机械手臂，以下是我司生产的几款产品的展示。

晶圆加工中对“氧化铝陶瓷机械手臂”的需求以及它必须具备的特性
氧化铝陶瓷机械手臂用于在不同的位置之间转运移动半导体晶片。相当于是机器人的手臂，这种工作性质 要求它具有热稳定性和尺寸稳定性，持久性的同时不会被颗粒或化学污染物污染腔室。

使用氧化铝陶瓷而不是铝金属有哪些主要优点？
高纯度的氧化铝陶瓷因其刚度和高强度而被选择制作成机械手臂，这意味着机器人手臂比铝更快地固定到其最终位置。此外，机器人本身的运动速度更快，优化了定位精度并提高了效率。