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蓝宝石结构件
在工业生产中,人造蓝宝石是一种常见的材料,采用蓝宝石制造的零配件可用于:分析仪器、压力传感器、搬运臂(机械手)、晶圆舟等。利用在晶圆舟上的蓝宝石材料纯度可达99.9%,这种高纯度的蓝宝石具有良好的耐热性以及等离子体阻抗,且微粒杂质有限,可用于半导体工艺设备的零部件,包括构件和工具。
蓝宝石表壳
蓝宝石加工件