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陶瓷手指

钧杰陶瓷2021-12-18
陶瓷手指

陶瓷手指常常被用在半导体晶圆生产过程中,通过它来抓取晶圆,一般采用高纯氧化铝制作,它也被称为“末端执行器”(半导体陶瓷)。997-998氧化铝陶瓷手指是晶圆生产过程中必须用到的一款产品,钧杰陶瓷拥有丰富的加工经验,采用高纯氧化铝陶瓷材料,经过多道工序精密加工而成。目前我们生产2-12寸各型号陶瓷手指,以下是我司生产的几款陶瓷手指展示。

陶瓷手指陶瓷手臂

晶圆加工中对“陶瓷手指”的需求以及它必须具备的特性
陶瓷手指构成机械臂的末端,用于在位置之间处理和移动半导体晶片。它基本上是机器人的手,因此重要的是它具有热稳定性和尺寸稳定性,并且不会被颗粒或化学污染物污染腔室。


使用氧化铝陶瓷而不是铝金属有哪些主要优点?
陶瓷手指因其刚度和高强度而被使用,这意味着机器人手臂比铝更快地固定到其最终位置。此外,机器人本身的运动速度更快,优化了定位精度并提高了效率。

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