12英寸氮化铝晶圆加热盘

12英寸氮化铝晶圆加热盘是钧杰陶瓷生产的又一款用于半导体设备上的重要陶瓷部件，目前该产品性能可完全比肩进口原装件，经过国内多家设备厂商的实际使用，具备良好的热导性，温度控制均匀，能满足晶圆加热的需求。目前该产品的外形尺寸为Ø315*19mm，平面度0.01以内。

2021年全球面临芯片短缺的局面，许多产品都无法正常供货，导致这一现象的原因除了疫情的因素外还有许多地缘政治因素。正因如此，国内许多半导体制造行业开始在国内寻求替代方案，在这一背景下，许多用于半导体制造设备上的精密陶瓷零部件也开始将采购方向瞄准了国内。12英寸氮化铝晶圆加热盘就是在这样的背景之下被带动起来的，目前国内能够生产该产品的厂商还屈指可数，钧杰陶瓷在这一领域有着丰富的制造经验，截至2022年1月初，我公司以为市场供应了超过60片该型产品。