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氮化铝陶瓷坩埚
氮化铝具有非常优异的热传导性能，是坩埚的理想材料，但是用这种材料来制作坩埚的成本比较高，这也使得它的应用受到了一定限制。人们在工业生产时，会使用到外形尺寸各不相同的多种坩埚，而这些坩埚的加工工艺以及表面处理方式也不完全相同。钧杰陶瓷目前可以生产小至5mm，大至300mm口径的氮化铝陶瓷坩埚。
6寸AlN氮化铝晶圆托盘
12英寸氮化铝晶圆加热盘
氮化铝陶瓷中针板
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