搜索关键词: 氮化硅陶瓷加工 氮化铝陶瓷加工 macor可加工微晶玻璃陶瓷
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特种蓝宝石玻璃是一种人工合成的高纯度α-Al₂O₃晶体材料,它具备莫氏硬度9级、透光率超过88%、耐高温(1700℃)以及抗腐蚀等诸多优良特性。其加工精度主要由材料特性与加工工艺的协同优化来决定,目前行业内领先水平能够实现以下关键指标:
一、核心加工精度参数
1. 表面粗糙度:借助磁流变抛光技术,能够达到Ra≤0.1μm的镜面效果,满足高端光学元件的要求。
2. 平面度:通过数控精密磨削,平面度可以控制在≤1μm(在Φ100mm范围内)。
3. 厚度公差:采用超声波切割与化学机械抛光相结合的方式,厚度控制精度能够达到±5μm。
4. 边缘崩边:利用激光切割配合离子束蚀刻技术,崩边尺寸可以控制在≤10μm。
二、关键影响因素
1. 材料特性:蓝宝石晶体的各向异性使得不同晶向的加工效率存在超过30%的差异。
2. 设备精度:高精度数控磨床的主轴跳动需要控制在0.5μm以内。
3. 工艺组合:采用粗加工(线切割)、半精加工(金刚石砂轮磨削)以及精加工(CMP抛光)的阶梯式工艺路线。
4. 环境控制:加工环境的温度需要稳定在23±0.5℃,湿度控制在50±5%RH。